설명:
일본에서 제조된 Yaskawa 클래식 4축 듀얼 암 고진공 웨이퍼 로봇으로, 에칭, 증착 및 이온 주입기 진공 챔버 내부에서 8/12인치 웨이퍼 이송을 위해 설계되었습니다. 자기 유체 진공 씰링을 채택했으며, 초저 파티클 생성, 마이크론 수준의 반복 위치 정밀도를 제공하고, 경량 탄소 섬유 엔드 이펙터와 결합됩니다. 리퍼비시 및 테스트 완료된 재고 보유, 전체 테스트 보고서 제공, 글로벌 DAP 배송 및 전문 애프터서비스 기술 지원 제공 가능.
주요 사양:
- 독립적으로 동작하는 이중 텔레스코픽 암, 교대로 웨이퍼 픽업 및 배치 수행, 웨이퍼 사이클 시간을 효과적으로 단축하고 팹 생산 능력을 향상.
- 특수 자기 유체 샤프트 씰 구조로 낮은 가스 방출을 실현하고, 고진공 환경에서 장기 안정 운전이 가능하며, 엄격한 반도체 진공 공정 기준을 충족합니다.
- 탄소 섬유 웨이퍼 포크 + 부드러운 S-커브 서보 모션 제어, 반복 위치 정밀도 ±0.05mm, 웨이퍼 스크래치 및 먼지 오염 위험을 크게 감소.
- 전체 장비는 저가스 방출 소재를 사용하고 내부 방진 최적화를 적용했으며, 박막, 에칭 및 이온 주입 공정에 대한 반도체 클린룸 기준을 완전히 충족합니다.
- XU-RC350D-K01 리퍼비시 테스트 완료 로봇 재고 보유, 3개월 보증 제공, 운영 매뉴얼, 배선도 및 원격 문제 해결 서비스 제공. 다양한 글로벌 배송 옵션 제공, 수입 관세 및 현지 ICMS 세금은 구매자 부담.
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 새 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객센터로 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀에서 전 과정 모니터링.
Q5: 포장 및 안전
A: 정품 브랜드 포장에 보강 보호 적용(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격에 강함.