설명:
일본에서 제조된 Yaskawa 클래식 4축 듀얼 암 고진공 웨이퍼 로봇으로, 식각, 증착 및 이온 주입기 진공 챔버 내부에서 8/12인치 웨이퍼 이송을 위해 설계됨. 자기 유체 진공 씰링, 초저 파티클 발생, 마이크론 수준의 반복 위치 결정 기능을 채택하고, 경량 탄소 섬유 엔드 이펙터와 결합됨. 리퍼비시 및 테스트 완료 제품 재고 보유, 완전한 테스트 리포트 제공, 글로벌 DAP 배송 및 전문 애프터서비스 기술 지원 제공 가능.
주요 사양:
- 독립적으로 동작하는 이중 텔레스코픽 암으로 웨이퍼 픽앤플레이스 교대로 수행하여 웨이퍼 사이클 시간을 효과적으로 단축하고 팹 생산 능력을 향상.
- 특수 자기 유체 샤프트 씰 구조로 저 아웃가싱 특성을 가지며, 고진공 환경에서 안정적인 장기 운전이 가능하고 엄격한 반도체 진공 공정 기준을 충족.
- 탄소 섬유 웨이퍼 포크 + 부드러운 S-커브 서보 모션 제어로 반복 위치 정확도 ±0.05mm를 달성하여 웨이퍼 스크래치 및 먼지 오염 위험을 크게 감소.
- 전체 장비는 아웃가싱 방지 소재를 사용하고 내부 방진 최적화가 적용되어 있으며, 박막, 식각 및 이온 주입 공정에 대한 반도체 클린룸 기준을 완전히 충족.
- XU-RC350D-K01 리퍼비시 테스트 완료 로봇 재고 보유, 3개월 보증 제공, 운전 매뉴얼, 배선도 및 원격 트러블슈팅 서비스 제공. 다양한 글로벌 배송 옵션 제공, 수입 관세 및 현지 ICMS 세금은 구매자 부담.
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 배송. 희귀 모델은 제조사 주문 필요—일정은 고객센터에 문의.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 전 과정 모니터링 제공.
Q5: 포장 및 안전
A: 원 브랜드 포장에 강화 보호 적용(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.