설명:
MKS Baratron 정전용량식 마노미터는 프리미엄 고정밀 절대 진공/압력 트랜스듀서로, 반도체 진공 공정 장비의 산업 표준입니다. 특허 받은 정전용량 다이어프램 감지 기술을 기반으로 가스 종류에 독립적인 압력 측정을 제공하며, 공정 가스 조성의 영향을 전혀 받지 않습니다. AMAT, LAM Research 및 주요 웨이퍼 팹 플랫폼과 폭넓게 호환되며, 식각, CVD, PVD, ALD 및 가스 공급 시스템을 위한 초안정 폐루프 압력 제어를 제공하여 챔버 진공 정밀도를 보장하고 반도체 제조 생산 수율을 향상시킵니다.
주요 사양:
- 측정값 기준 최대 ±0.25%의 최상급 정확도, 0.01% Full Scale의 초미세 분해능, 우수한 장기 안정성과 최소 드리프트를 제공하여 엄격한 반도체 공정 요구사항을 충족합니다MKS.
- 다이어프램 및 유체 접촉 부품은 Inconel® / Incoloy® 니켈 합금 또는 316L 스테인리스 스틸을 적용하며, 완전 용접 구조로 설계되어 부식성 특수 공정 가스에 대한 내성이 뛰어납니다. 열악한 플라즈마 환경에서도 안전한 운전을 위해 출하 전 100% 누설 테스트를 수행합니다.
- 초미세 진공부터 고압까지 커버: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. 가열형 모델(45℃ / 100℃ 옵션)은 휘발성 공정 매체의 응축을 효과적으로 방지하여 측정 오차를 예방합니다.
적용 분야:
- 반도체 팹 장비: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 식각 시스템
- 박막 증착, 플라즈마 식각 및 이온 주입을 위한 정밀 진공 제어
- MFC 가스 캐비닛, 진공 펌핑 시스템, 누설 감지 및 압력 안전 인터록
- 태양광 PV, LED 코팅, 제약 진공 공정 및 실험실 고정밀 진공 테스트
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:정품 새 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A:T/T, Paypal 지원합니다.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 출하됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 발송 후 운송장 번호 + 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A:정품 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트)를 적용합니다. 방습 및 충격에 강합니다.