설명:
일본에서 제작된 Yaskawa 클래식 4축 듀얼 암 고진공 웨이퍼 로봇으로, 식각(etching), 증착(deposition) 및 이온 주입기(ion implanter) 진공 챔버 내부에서 8/12인치 웨이퍼 이송을 위해 설계되었습니다. 자기 유체 진공 씰링을 채택했으며, 초저 파티클 발생, 마이크론 수준의 반복 위치 정밀도를 제공하고, 경량 탄소섬유 엔드 이펙터와 함께 구성됩니다. 리퍼비시 및 테스트 완료된 재고 보유, 전체 테스트 리포트 제공, 글로벌 DAP 배송 및 전문 애프터서비스 기술 지원이 가능합니다.
주요 사양:
- 독립적인 이중 텔레스코픽 암으로 웨이퍼를 교대로 픽 앤 플레이스하여 웨이퍼 사이클 타임을 효과적으로 단축하고 팹 생산 능력을 향상시킵니다.
- 특수 자기 유체 샤프트 씰 구조로 낮은 아웃가싱(outgassing)을 실현하며, 고진공 환경에서도 안정적인 장기 운전이 가능하고, 엄격한 반도체 진공 공정 기준을 충족합니다.
- 탄소섬유 웨이퍼 포크 + 부드러운 S-커브 서보 모션 제어로 반복 위치 정밀도 ±0.05mm를 달성하며, 웨이퍼 스크래치 및 먼지 오염 위험을 크게 줄입니다.
- 전체 장비는 아웃가싱 방지 소재를 사용하고 내부 방진 최적화를 적용하여 박막, 식각 및 이온 주입 공정에 대한 반도체 클린룸 기준을 완벽히 준수합니다.
- XU-RC350D-K01 리퍼비시 테스트 완료 로봇 재고 보유, 3개월 보증 제공, 운영 매뉴얼, 배선도 및 원격 문제 해결 서비스를 제공합니다. 다양한 글로벌 배송 옵션이 있으며, 수입 관세 및 현지 ICMS 세금은 구매자 부담입니다.
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 신규 정품 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품의 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 오리지널 브랜드 포장에 보강 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트)를 적용합니다. 방습 및 충격에 강합니다.