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새 제품 MKS EDGE60MHZ RF 매처

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고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 보유 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    EDGE60MHZ

  • 주문(MOQ):

    1

  • 지불:

    100% T/T

  • 제품 원산지:

    USA

  • 색상:

    As Model

  • 선적항:

    Xiamen

  • 리드타임：

    2-3 days
지금 문의하세요
  • 제품 세부정보

설명:

MKS RF Matchers(RF 매칭 박스/네트워크라고도 함)는 반도체 및 산업용 플라즈마 시스템을 위해 설계된 고성능 자동 임피던스 매칭 장치입니다. 이 장치는 RF 발생기의 50Ω 출력 임피던스를 플라즈마 챔버, 식각기(etcher), PECVD 및 스퍼터링 장비의 가변 임피던스와 동적으로 일치시켜 반사 전력을 최소화하고 전력 전달 효율을 극대화합니다. 빠른 튜닝, 견고한 차폐, 컴팩트한 랙마운트 설계를 특징으로 하며, 안정적인 플라즈마 점화, 일관된 공정 성능, 24/7 생산 신뢰성을 보장합니다. 신품, 리퍼비시, 완전 테스트된 중고 상태로 제공됩니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. 자동 임피던스 매칭: RF 발생기 50Ω 출력과 가변 플라즈마 부하 임피던스를 실시간으로 튜닝하여 정합; 반사 전력 최소화(일반적으로
  2. 빠른 튜닝 속도: 대부분 모델에서
  3. 넓은 주파수 및 전력 범위: 13.56MHz(표준), 27.12MHz, 40.68MHz 지원; 300W~10kW 전력 등급
  4. 견고한 구조: EMI/RFI 차폐가 적용된 중장비 금속 인클로저; 표준 공랭식(고출력 모델은 수랭 옵션)
  5. 정밀 부품: 장수명 사이클(1,000,000+ 회)을 위한 고품질 가변 커패시터, 인덕터 및 스테퍼 모터
 
 
 

응용 분야:

  1. 반도체 제조: RIE/ICP 식각, PECVD/LPCVD 증착, 플라즈마 애싱, 웨이퍼 세정, 로드락 시스템
  2. 진공 코팅: 광학, 디스플레이, 태양전지용 스퍼터링, 증발, PVD/CVD 박막 증착
  3. 산업용 플라즈마 처리: 금속, 플라스틱, 세라믹의 표면 활성화, 세정, 식각 및 코팅
  4. 연구개발: 안정적인 RF 플라즈마 공급이 필요한 대학 연구실, 연구 기관 및 파일럿 생산 라인

 

 

자주 묻는 질문:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 신품입니다. 1년 보증 포함.

Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, PayPal 지원.

Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.

Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호와 링크 제공. 당사에서 전 과정 모니터링합니다.

Q5: 포장 및 안전

 

A: 강화 보호 포장이 적용된 정품 브랜드 패키지(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지 처리.

 

 

관련 태그 : Industrial equipment Automation components RF Matchers
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