설명:
MKS RF Matchers (또는 RF matching boxes/networks라고도 불림)는 반도체 및 산업용 플라즈마 시스템을 위해 설계된 고성능 자동 임피던스 매칭 장치입니다. 이 장치는 RF 발생기의 50Ω 출력 임피던스를 플라즈마 챔버, 에처, PECVD 및 스퍼터링 장비의 가변 임피던스에 동적으로 정렬하여 반사 전력을 최소화하고 전력 전달 효율을 극대화합니다. 빠른 튜닝, 견고한 차폐, 컴팩트한 랙마운트 설계를 특징으로 하며 안정적인 플라즈마 점화, 일관된 공정 성능, 24/7 생산 신뢰성을 보장합니다. 신품, 리퍼비시, 그리고 완전 테스트된 중고 상태로 제공됩니다.
주요 사양:
- 자동 임피던스 매칭: 50Ω 발생기 출력과 가변 플라즈마 부하 임피던스를 실시간으로 튜닝하여 일치시킴; 반사 전력 최소화(일반적으로
- 빠른 튜닝 속도: 고속 응답(대부분 모델 기준
- 광범위한 주파수 및 전력 지원: 13.56MHz(표준), 27.12MHz, 40.68MHz 지원; 전력 등급 300W~10kW
- 견고한 구조: EMI/RFI 차폐가 적용된 고강도 금속 인클로저; 공랭 표준(고출력 모델은 수랭 옵션)
- 정밀 부품: 고품질 가변 커패시터, 인덕터 및 스테퍼 모터 사용으로 긴 수명(1,000,000+ 사이클 이상)
적용 분야:
- 반도체 제조: RIE/ICP 식각, PECVD/LPCVD 증착, 플라즈마 애싱, 웨이퍼 세정, 로드락 시스템
- 진공 코팅: 광학, 디스플레이 및 태양전지를 위한 스퍼터링, 증발, PVD/CVD 박막 증착
- 산업용 플라즈마 처리: 금속, 플라스틱, 세라믹의 표면 활성화, 세정, 식각 및 코팅
- 연구 및 개발: 안정적인 RF 플라즈마 공급이 필요한 대학 연구실, 연구 기관 및 파일럿 생산 라인
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품의 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3~5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주십시오.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 전 과정 모니터링을 당사 팀에서 지원합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 정품 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트 포함). 방습 및 충격 방지 설계.