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완전 새 제품 MKS EDGE6060A-G12 RF 매처

완전 새 제품 MKS EDGE6060A-G12 RF 매처

완전 새 제품 MKS EDGE6060A-G12 RF 매처

고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 있음 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    EDGE6060A-G12

  • 주문(MOQ):

    1

  • 지불:

    100% T/T

  • 제품 원산지:

    USA

  • 색상:

    As Model

  • 선적항:

    Xiamen

  • 리드타임：

    2-3 days
지금 문의하세요
  • 제품 세부정보

설명:

MKS RF 매처(MKS RF Matchers, RF 매칭 박스/네트워크라고도 함)는 반도체 및 산업용 플라즈마 시스템을 위해 설계된 고성능 자동 임피던스 매칭 장치입니다. 이 장치는 RF 발생기의 50Ω 출력 임피던스를 플라즈마 챔버, 에처, PECVD 및 스퍼터링 장비의 가변 임피던스와 동적으로 정렬하여 반사 전력을 최소화하고 전력 전달 효율을 극대화합니다. 빠른 튜닝, 견고한 차폐, 그리고 컴팩트한 랙 마운트 설계를 특징으로 하며, 안정적인 플라즈마 점화, 일관된 공정 성능, 24/7 생산 신뢰성을 보장합니다. 신품, 리퍼비시, 그리고 완전히 테스트된 중고 상태로 제공됩니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. 자동 임피던스 매칭: 50Ω 발생기 출력과 가변 플라즈마 부하 임피던스를 실시간으로 튜닝하여 일치시킴; 반사 전력 최소화（일반적으로
  2. 빠른 튜닝 속도: 대부분 모델에서
  3. 광범위한 주파수 및 전력 범위: 13.56MHz（표준）, 27.12MHz, 40.68MHz 지원; 전력 정격 300W~10kW
  4. 견고한 구조: EMI/RFI 차폐 기능이 있는 고강도 금속 인클로저; 공랭식 표준（고출력 모델은 수냉 옵션）
  5. 정밀 부품: 고품질 가변 커패시터, 인덕터 및 스테퍼 모터 사용으로 긴 사이클 수명（1,000,000+ cycles）
 
 
 

응용 분야:

  1. 반도체 제조: RIE/ICP 식각, PECVD/LPCVD 증착, 플라즈마 애싱, 웨이퍼 세정, 로드락 시스템
  2. 진공 코팅: 스퍼터링, 증발, 광학·디스플레이·태양전지용 PVD/CVD 박막 증착
  3. 산업용 플라즈마 처리: 금속, 플라스틱, 세라믹의 표면 활성화, 세정, 식각 및 코팅
  4. 연구개발: 안정적인 RF 플라즈마 공급이 필요한 대학 실험실, 연구 기관 및 파일럿 생산 라인

 

 

FAQ:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 새 제품입니다. 1년 보증 포함.

Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.

Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 출하됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객센터에 문의해 주세요.

Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링.

Q5: 포장 및 안전

 

A: 강화 보호 포장이 적용된 정품 브랜드 포장 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.

 

 

관련 태그 : Industrial equipment Automation components RF Matchers
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