설명:
MKS RF Matchers(일반적으로 RF 매칭 박스/네트워크라고도 함)는 반도체 및 산업용 플라즈마 시스템을 위해 설계된 고성능 자동 임피던스 매칭 장치입니다. 이 장치는 RF 발생기의 50Ω 출력 임피던스를 플라즈마 챔버, 식각 장비(etchers), PECVD, 스퍼터링 장비의 가변 임피던스와 동적으로 정렬하여 반사 전력을 최소화하고 전력 전달 효율을 극대화합니다. 빠른 튜닝, 견고한 차폐 구조, 컴팩트한 랙마운트 설계를 갖추어 안정적인 플라즈마 점화, 일관된 공정 성능, 24/7 생산 신뢰성을 보장합니다. 신품, 리퍼비시, 완전 테스트된 중고 상태로 제공됩니다.
주요 사양:
- 자동 임피던스 매칭: 50Ω 발생기 출력과 가변 플라즈마 부하 임피던스를 실시간으로 정합; 반사 전력 최소화(일반적으로
- 빠른 튜닝 속도: 대부분 모델에서
- 광범위한 주파수 및 전력 범위: 13.56MHz(표준), 27.12MHz, 40.68MHz 지원; 전력 등급 300W~10kW
- 견고한 구조: EMI/RFI 차폐 기능을 갖춘 고강도 금속 인클로저; 공랭식 표준(고출력 모델은 수랭 옵션)
- 정밀 부품: 고품질 가변 커패시터, 인덕터 및 스테퍼 모터 사용으로 긴 수명(1,000,000+ cycles)
응용 분야:
- 반도체 제조: RIE/ICP 식각, PECVD/LPCVD 증착, 플라즈마 애싱, 웨이퍼 세정, 로드락 시스템
- 진공 코팅: 광학, 디스플레이 및 태양전지를 위한 스퍼터링, 증발, PVD/CVD 박막 증착
- 산업용 플라즈마 처리: 금속, 플라스틱, 세라믹의 표면 활성화, 세정, 식각 및 코팅
- 연구개발: 안정적인 RF 플라즈마 공급이 필요한 대학 연구실, 연구기관 및 파일럿 생산 라인
FAQ:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 신제품이며, 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객센터에 문의해 주십시오.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 및 링크 제공. 전 과정은 당사에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 정품 브랜드 포장 사용, 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지