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신품 MKS DLT2A2-33204 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-33204 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-33204 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

고정밀도, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 보유 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    DLT2A2-33204

  • 주문(MOQ):

    1

  • 지불:

    100% T/T

  • 제품 원산지:

    USA

  • 색상:

    As Model

  • 선적항:

    Xiamen

  • 리드타임：

    2-3 days
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  • 제품 세부정보

설명:

MKS DELTA IV(또는 Delta IV로 표기)는 여러 공정 가스 흐름을 여러 구역 또는 챔버로 정확하게 분배하고 제어하는 컴팩트한 고정밀 4-구역 유량 비율 컨트롤러(FRC)입니다. MKS의 유명한 DELTA 시리즈의 일부로, 고급 제조 공정에서 폐루프 비율 제어를 가능하게 하여 웨이퍼, 패널 또는 기판 전반에 걸쳐 일관된 가스 분포를 보장합니다. 식각(etch), PECVD, 스퍼터링 및 ALD 공정에 이상적이며, DELTA IV는 수동 밸브와 고정 오리피스의 불안정성을 제거하고 뛰어난 균일성과 공정 재현성을 제공합니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. MKS DELTA IV 4-구역 유량 비율 컨트롤러
  2. 정밀 가스 분배: 1 입력 → 4 제어 출력
  3. 범위: 채널당 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm
  4. 비율 정확도 ±2%, 반복 정밀도 ±0.3%
  5. EtherCAT 또는 DeviceNet 디지털 통신
  6. 컴팩트한 반도체 등급 구조 (5 μin Ra)
 
 
 

응용 분야:

  1. 반도체: 식각, PECVD, ALD, 스퍼터링, 웨이퍼 수준 균일성 제어
  2. 평판 및 디스플레이: 대면적 공정용 균일 가스 분배
  3. 태양광 및 PV: 박막 증착, 챔버 유량 밸런싱
  4. 산업용 진공: 플라즈마 세정, 표면 처리, 다중 구역 코팅

 

 

FAQ:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A:신품 정품. 1년 보증 포함.

Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.

Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객센터에 문의해 주세요.

Q4: 배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 추적 번호 및 링크 제공. 전 과정 모니터링 지원.

Q5: 포장 및 안전

 

A:정밀 장비용으로 강화된 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 목재 크레이트 사용). 방습 및 충격 방지 처리.

 

 

관련 태그 : Industrial equipment Automation components DELTA IV Flow Ratio Controller
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