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신품 MKS DLT2A2-32121 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-32121 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-32121 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

높은 정밀도, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 보유 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    DLT2A2-32121
  • 주문(MOQ):

    1
  • 지불:

    100% T/T
  • 제품 원산지:

    USA
  • 색상:

    As Model
  • 선적항:

    Xiamen
  • 리드타임:

    2-3 days
  • 제품 세부정보

설명:

MKS DELTA IV(델타 IV라고도 표기됨)는 소형 고정밀 4존 유량비 제어기(FRC)로, 공정 가스 흐름을 정확하게 분할하여 여러 존 또는 챔버로 제어합니다. MKS의 유명한 DELTA 시리즈의 일부로서, 첨단 제조 공정에서 폐루프 비율 제어를 가능하게 하여 웨이퍼, 패널 또는 기판 전반에 걸친 일관된 가스 분포를 보장합니다. 에칭, PECVD, 스퍼터링 및 ALD 공정에 이상적이며, DELTA IV는 수동 밸브 및 고정 오리피스의 불안정을 제거하여 우수한 균일성과 공정 반복성을 제공합니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. MKS DELTA IV 4존 유량비 제어기
  2. 정밀 가스 분할: 1 입력 → 4 제어 출력
  3. 유량 범위: 채널당 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm
  4. 비율 정확도 ±2%, 반복성 ±0.3%
  5. EtherCAT 또는 DeviceNet 디지털 통신
  6. 소형, 반도체 등급 구조(5 μin Ra)
 
 
 

적용 분야:

  1. 반도체: 에칭, PECVD, ALD, 스퍼터링, 웨이퍼 수준 균일성 제어
  2. 평판 디스플레이: 대면적 공정용 균일 가스 분포
  3. 태양광 & PV: 박막 증착, 챔버 유량 균형
  4. 산업용 진공: 플라즈마 세정, 표면 처리, 다중 존 코팅

 

 

자주 묻는 질문:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품이며, 1년 보증이 포함됩니다.

Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.

Q3: 제품 배송 시간은 얼마나 걸리며, 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송. 희귀 모델은 제조사 주문 필요 — 일정은 고객 서비스에 문의하세요.

Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 가능. 발송 후 추적 번호 및 링크 제공. 전체 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.

Q5: 포장 및 안전

 

A: 원래 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 상자, 정밀 기어용 목재 상자) 포함. 습기 및 충격 방지.

 

 

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