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신품 Lam Research SM930MS102CK 질량 유량 컨트롤러

신품 Lam Research SM930MS102CK 질량 유량 컨트롤러

신품 Lam Research SM930MS102CK 질량 유량 컨트롤러

고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 있음 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    SM930MS102CK
  • 주문(MOQ):

    1
  • 지불:

    100% T/T
  • 제품 원산지:

    USA
  • 색상:

    As Model
  • 선적항:

    Xiamen
  • 리드타임:

    2-3 days
  • 제품 세부정보

설명:

LAM Research 광섬유 분광기는 반도체 웨이퍼 공정 장비에 통합되는 고정밀 광학 모니터링 장치입니다. 전문 광학 모듈과 주로 결합되어 광섬유 전송 설계를 채택하여 공정 챔버 내부의 플라즈마 방출, 반사 및 투과 스펙트럼을 포착합니다. 식각 엔드포인트 검출, 박막 계측 및 실시간 플라즈마 상태 모니터링에 널리 사용되며, 이러한 장치는 안정적인 공정 성능을 보장하고 생산 수율을 향상시키며 식각, CVD, PVD 및 기타 진공 제조 공정에서 불량품을 줄입니다. 정품 OEM 호환 구성 요소로서 LAM 전체 시리즈 공정 툴과 뛰어난 호환성과 장기 신뢰성을 제공합니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. 고감도 CCD/PMT 검출기가 탑재되어 뛰어난 스펙트럼 분해능과 저노이즈 성능을 제공합니다. 다양한 반도체 공정 모니터링 요구를 충족하기 위해 자외선-가시광 파장 범위를 커버합니다.
  2. 표준 SMA 광섬유 인터페이스는 장거리 신호 전송을 지원합니다. 진공 호환 프로브는 고진공, 고온 및 플라즈마 환경에서 안정적으로 작동합니다.
  3. 실시간 스펙트럼 분석을 통해 정밀한 식각 엔드포인트 판단, 박막 두께 및 광학 특성 측정을 가능하게 하며, 과식각 및 부족 식각을 효과적으로 방지합니다.
  4. 내장된 Ethernet 및 RS-232 통신 포트를 통해 LAM 장비 프로토콜과 완전히 호환되어 원활한 데이터 상호작용 및 시스템 연동을 지원합니다.
  5. 컴팩트하고 견고한 구조로 내진동 및 내간섭 성능을 갖추었습니다. 24/7 연속 작동을 지원하며 현장 교체가 용이합니다.
 

 

대표 응용 분야:

  1. 플라즈마 식각 시스템, CVD, PVD 및 ALD 박막 증착 장비
  2. 웨이퍼 식각 공정 엔드포인트 검출
  3. 현장 박막 두께 및 반사율 측정
  4. 진공 공정 챔버용 실시간 플라즈마 상태 분석
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL 및 기타 주요 공정 플랫폼

 

 

FAQ:

Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:새 제품 정품이며, 1년 보증이 포함됩니다.

Q2:결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원합니다.

Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3~5 영업일 이내에 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며 일정은 고객 서비스에 문의해 주십시오.

Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀에서 모니터링합니다.

Q5:포장 및 안전

 

A:원 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)가 적용됩니다. 방습 및 충격 방지 설계입니다.

 

 

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