설명:
LAM Research 광섬유 분광기는 반도체 웨이퍼 공정 장비에 통합되는 고정밀 광학 모니터링 장치입니다. 전문 광학 모듈과 주로 결합되어 사용되며, 광섬유 전송 설계를 채택하여 공정 챔버 내부의 플라즈마 방출, 반사 및 투과 스펙트럼을 포착합니다. 식각 엔드포인트 검출, 박막 계측 및 실시간 플라즈마 상태 모니터링에 널리 사용되며, 이러한 장치는 공정의 안정적인 성능을 보장하고 생산 수율을 향상시키며 식각, CVD, PVD 및 기타 진공 제조 공정에서 불량품을 줄입니다. OEM 정품 호환 부품으로서 LAM 전체 시리즈 공정 장비에 대해 뛰어난 호환성과 장기 신뢰성을 제공합니다.
주요 사양:
- 고감도 CCD/PMT 검출기를 탑재하여 뛰어난 스펙트럼 분해능과 낮은 노이즈를 제공합니다. UV-가시광 파장 범위를 커버하여 다양한 반도체 공정 모니터링 요구를 충족합니다.
- 표준 SMA 광섬유 인터페이스는 장거리 신호 전송을 지원합니다. 진공 호환 프로브는 고진공, 고온 및 플라즈마 환경에서 안정적으로 작동합니다.
- 실시간 스펙트럼 분석을 통해 정밀한 식각 엔드포인트 판단, 박막 두께 및 광학 특성 측정이 가능하며, 과식각 및 부족 식각을 효과적으로 방지합니다.
- 내장된 Ethernet 및 RS-232 통신 포트를 통해 LAM 장비 프로토콜과 완전히 호환되며 원활한 데이터 상호작용 및 시스템 연동을 지원합니다.
- 컴팩트하고 견고한 구조로 내진동 및 내간섭 기능을 갖추고 있습니다. 24/7 연속 운전을 지원하며 현장 교체가 용이합니다.
대표 적용 분야:
- 플라즈마 식각 시스템, CVD, PVD 및 ALD 박막 증착 장비
- 웨이퍼 식각 공정의 엔드포인트 검출
- 현장(in-situ) 박막 두께 및 반사율 측정
- 진공 공정 챔버의 실시간 플라즈마 상태 분석
- LAM Research 2300, 9400, ExAL 및 기타 주요 공정 플랫폼
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객센터로 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원 브랜드 포장에 강화 보호가 적용됩니다(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지 기능이 있습니다.