설명:
Lam Research 전극 및 절연체 부품은 반도체 식각, 증착 및 플라즈마 공정 장비에서 핵심 소모품이자 구조 구성 요소입니다. 전극은 웨이퍼 제조를 위해 안정적인 플라즈마를 생성하고 유지합니다. 고성능 절연체는 전기 누설, 아킹 및 단락을 방지하기 위해 회로와 부품을 절연합니다. 특수 반도체 등급 소재로 제작되어 우수한 전기 저항, 열 안정성 및 플라즈마 침식 저항성을 갖습니다. 고진공, 고온 및 강한 RF 환경에서도 안정적으로 작동하여 공정 챔버의 장기 안정 운영과 일관된 생산 수율을 보장합니다. 모든 제품은 Lam Research 웨이퍼 처리 장비와 완벽한 호환성을 갖춘 정품 OEM 부품입니다.
주요 사양:
- 전극에는 고순도 전도성 소재를, 절연체에는 고급 세라믹/석영을 적용하여 플라즈마 부식에 대한 뛰어난 내구성을 제공합니다.
- 전극은 균일한 플라즈마 분포를 보장하며, 절연체는 방전 오류와 장비 손상을 방지하는 뛰어난 절연 강도를 제공합니다.
- 고온, 열충격 및 기계적 응력을 견디며 24/7 연속 운전 동안 정밀한 치수와 성능을 유지합니다.
- 정밀 공차로 가공되어 원장비 구조와 완벽하게 일치하며, 원활한 설치와 안정적인 공정 결과를 제공합니다.
- Lam etcher, CVD, PVD 및 관련 진공 시스템과 완벽하게 호환됩니다. 생산 중단 시간을 최소화하기 위해 쉽게 교체할 수 있습니다.
일반적인 적용 분야:
- Lam Research 플라즈마 식각 시스템
- CVD, PVD 및 ALD 박막 증착 장비
- 200mm / 300mm 웨이퍼 공정 챔버
- 반도체 생산 라인 유지보수 및 예비 부품 교체
자주 묻는 질문:
Q1:제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A:신규 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2:결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며 일정은 고객 서비스에 문의해 주십시오.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링.
Q5:포장 및 안전
A:원 브랜드 포장 및 강화 보호 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.