설명:
Lam Research 전극 및 절연체 부품은 반도체 식각, 증착 및 플라즈마 공정 장비의 핵심 소모품이자 구조 부품입니다. 전극은 웨이퍼 제조를 위해 안정적인 플라즈마를 생성하고 유지합니다. 고성능 절연체는 전기 누설, 아크 및 단락을 방지하기 위해 회로와 부품을 절연합니다. 특수 반도체 등급 소재로 제작되어 우수한 전기 저항성, 열 안정성 및 플라즈마 침식 저항성을 갖추고 있습니다. 고진공, 고온 및 강한 RF 환경에서도 안정적으로 작동하여 공정 챔버의 장기 안정 운영과 일관된 생산 수율을 보장합니다. 모든 제품은 Lam Research 웨이퍼 처리 장비와 완벽하게 호환되는 정품 OEM 부품입니다.
주요 사양:
- 고순도 전도성 소재의 전극과 고급 세라믹/쿼츠 절연체를 적용하여 플라즈마 부식에 대한 탁월한 내구성을 제공합니다.
- 전극은 균일한 플라즈마 분포를 보장하며, 절연체는 방전 결함과 장비 손상을 방지하기 위한 우수한 절연 강도를 제공합니다.
- 고온, 열 충격 및 기계적 응력을 견디며 24/7 연속 운전 동안 정밀한 치수와 성능을 유지합니다.
- 엄격한 공차로 가공되어 원래 장비 구조와 완벽하게 일치하며, 원활한 설치와 안정적인 공정 결과를 제공합니다.
- Lam 에처, CVD, PVD 및 관련 진공 시스템과 완벽하게 호환됩니다. 교체가 용이하여 생산 중단 시간을 최소화합니다.
일반 적용 분야:
- Lam Research 플라즈마 식각 시스템
- CVD, PVD 및 ALD 박막 증착 장비
- 200mm / 300mm 웨이퍼 공정 챔버
- 반도체 생산 라인 유지보수 및 예비 부품 교체
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장과 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)를 사용합니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.