설명:
Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇 컨트롤러는 반도체 제조를 위해 Brooks Automation (USA)가 설계한 고정밀 클린룸 등급 모션 제어 시스템입니다. Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇의 핵심 제어 유닛으로서, 반도체 팹에서 150mm, 200mm, 300mm 웨이퍼의 정밀하고 신뢰성 있으며 오염 없는 이송을 가능하게 하며, EFEM (Equipment Front-End Module) 및 공정 장비 자동화에서 핵심 구성 요소로 사용됩니다.
주요 사양:
- 원산지 및 적용: 반도체 클린룸 자동화 전용으로 미국에서 제조된 컨트롤러로, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼 핸들링에 적합하며 EFEM 및 프런트엔드 생산 시스템의 핵심 제어 유닛으로 작동합니다.
- 높은 정밀 성능: 다축 서보 제어와 마이크론 수준의 위치 정밀도를 갖추고 있으며, 대기 및 진공 환경에서 안정적이고 고속이며 손상 없는 웨이퍼 이송을 가능하게 합니다.
- 우수한 호환성: ESD 및 엄격한 클린룸 기준을 준수합니다. SECS/GEM 및 이더넷을 지원하여 공장 호스트 시스템과의 손쉬운 연결을 제공합니다.
- 신뢰성 있는 운용: 24시간 연속 가동을 위해 현장에서 검증되었습니다. 기존 반도체 생산 라인의 유지보수, 교체 및 업그레이드를 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 선택입니다.
일반적인 적용 분야:
- FOUP 로딩, 언로딩 및 웨이퍼 프리얼라인먼트 자동화
- 식각, 증착 및 리소그래피 공정을 위한 웨이퍼 이송
- 웨이퍼 테스트, 검사 및 계측 워크플로 지원
- 생산 라인, R&D 및 파일럿 클린룸 프로젝트에 적합
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, PayPal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 배송 후 운송장 번호 및 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 오리지널 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트)를 적용합니다. 방습 및 충격 방지 처리됩니다.