설명:
Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇 컨트롤러는 Brooks Automation (USA)가 반도체 제조를 위해 설계한 고정밀 클린룸급 모션 제어 시스템입니다. Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇의 핵심 제어 장치로서, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼를 반도체 팹에서 정밀하고 안정적이며 오염 없이 이송할 수 있도록 지원하며, EFEM (Equipment Front-End Module) 및 공정 장비 자동화의 핵심 구성 요소로 사용됩니다.
주요 사양:
- 원산지 및 적용: 미국에서 제조된 컨트롤러로 반도체 클린룸 자동화 전용이며, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼 핸들링에 적합하고 EFEM 및 프론트엔드 생산 시스템의 핵심 제어 장치로 사용됩니다.
- 고정밀 성능: 다축 서보 제어 및 미크론 수준의 위치 정확도를 갖추고 있어 대기 및 진공 환경에서 안정적이고 고속이며 손상 없는 웨이퍼 이송을 가능하게 합니다.
- 우수한 호환성: ESD 및 엄격한 클린룸 기준을 준수합니다. SECS/GEM 및 Ethernet을 지원하여 공장 호스트 시스템과 쉽게 연결할 수 있습니다.
- 안정적인 운용: 24시간 연속 운전 환경에서 현장 테스트를 거쳤습니다. 기존 반도체 생산 라인의 유지보수, 교체 및 업그레이드를 위한 신뢰성 높고 비용 효율적인 선택입니다.
일반적인 적용 분야:
- FOUP 로딩, 언로딩 및 웨이퍼 사전 정렬 자동화
- 식각, 증착 및 리소그래피 공정을 위한 웨이퍼 이송
- 웨이퍼 테스트, 검사 및 계측 워크플로 지원
- 생산 라인, R&D 및 파일럿 클린룸 프로젝트 적용
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 신규 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 고객 서비스에 문의해 일정 확인이 필요합니다.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장에 강화 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)을 적용합니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.