설명:
이 제품은 Applied Materials (AMAT) ESC HV 고전압 전원 공급 모듈의 정품으로, 반도체 웨이퍼 처리 장비의 Electrostatic Chuck (ESC) 시스템을 위한 핵심 전원 장치입니다. 미국에서 설계 및 제조되었으며, 정밀하게 제어된 고전압 DC 출력을 Electrostatic Chuck에 공급하여 식각, CVD, PVD 및 기타 진공 공정 동안 안정적이고 균일한 웨이퍼 클램핑을 보장합니다.
주요 사양:
- OEM AMAT 품질: 미국에서 설계 및 제조된 정품, 24/7 팹 운영을 위한 장기 신뢰성
- 정밀 고전압 출력: 0~±2kV (bipolar) / 0~10kV (unipolar) 조절 가능; 정확도 ≤±0.5% FS, 리플 ≤50Vpp
- 안정적이고 깨끗한 전원: 저노이즈, 정밀한 부하 조절, ESC 척킹 균일성 최적화
- 통합 안전 보호: 과전압, 과전류, 단락, 과열 보호; SEMI S2 준수 HV 인터록
- 플러그 앤 플레이 대체품: AMAT Centura, Producer, Endura 플랫폼과 직접 호환; 하드웨어 변경 불필요
- 다중 부품 번호: 200mm/300mm ESC 응용 커버 (0010-11239, 0190-17029 등)
일반 응용 분야:
- 반도체 웨이퍼 식각 (Centura)
- CVD 증착 (Producer)
- PVD/ALD 공정 (Endura)
- Electrostatic Chuck (ESC) 웨이퍼 클램핑
- 진공 플라즈마 공정 장비
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3~5 영업일 내에 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전체 배송 과정은 저희 팀이 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 강화된 보호 포장이 적용된 정품 브랜드 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트 포함). 습기 및 충격에 강합니다.