설명:
이것은 원본 Applied Materials (AMAT) ESC HV 고전압 전원 공급 모듈로, 반도체 웨이퍼 공정 장비에서 Electrostatic Chuck (ESC) 시스템의 핵심 전원 유닛입니다. 미국에서 설계 및 제조되었으며, 정밀 제어된 고전압 DC 출력을 정전 척에 제공하여 에칭, CVD, PVD 및 기타 진공 공정 동안 안정적이고 균일한 웨이퍼 클램핑을 보장합니다.
주요 사양:
- OEM AMAT 품질: 오리지널 설계, Made in USA, 24/7 팹 운영을 위한 장기 신뢰성
- 정밀 고전압 출력: 0~±2kV (bipolar) / 0~10kV (unipolar) 조절 가능; 정확도 ≤±0.5% FS, 리플 ≤50Vpp
- 안정적이고 깨끗한 전원: 저노이즈, 엄격한 부하 레귤레이션, ESC 척킹 균일성을 위해 최적화
- 통합 안전 보호: 과전압, 과전류, 단락, 과온도 보호; SEMI S2를 준수하는 HV 인터록
- 드롭인 교체: AMAT Centura, Producer, Endura 플랫폼과 직접 호환; 하드웨어 변경 불필요
- 다중 파트 번호: 200mm/300mm ESC 애플리케이션 포함 (0010-11239, 0190-17029 등)
일반적인 적용 분야:
- 반도체 웨이퍼 에칭 (Centura)
- CVD 증착 (Producer)
- PVD/ALD 공정 (Endura)
- Electrostatic Chuck (ESC) 웨이퍼 클램핑
- 진공 플라즈마 공정 장비
FAQ:
Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:새 제품 정품. 1년 보증 포함.
Q2:결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송. 희소 모델은 제조사 주문 필요—일정은 고객 서비스에 문의.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀의 전 과정 모니터링.
Q5:포장 및 안전
A:강화 보호가 적용된 정품 브랜드 포장 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 습기 및 충격에 강함.