설명:
일본에서 제조된 Yaskawa 클래식 4축 듀얼 암 고진공 웨이퍼 로봇으로, 에칭, 증착 및 이온 주입 장비의 진공 챔버 내부에서 8/12-inch 웨이퍼 전달을 위해 설계되었습니다. 자기 유체 진공 밀봉을 채택했으며, 초저 파티클 발생, 미크론 수준의 반복 위치 정밀도를 제공하고, 경량 탄소섬유 엔드 이펙터와 함께 사용됩니다. 리퍼비시 및 테스트 완료 재고 보유, 완전한 테스트 보고서 제공, 글로벌 DAP 배송 및 전문 애프터서비스 기술 지원 제공.
주요 사양:
- 듀얼 독립 텔레스코픽 암으로 웨이퍼 픽업 및 배치를 교대로 수행하여 웨이퍼 사이클 시간을 효과적으로 단축하고 팹 생산 능력을 향상시킵니다.
- 특수 자기 유체 샤프트 씰 구조로 저탈기 특성을 가지며, 고진공 환경에서 장기간 안정적으로 작동하고 엄격한 반도체 진공 공정 표준을 충족합니다.
- 탄소섬유 웨이퍼 포크 + 부드러운 S-커브 서보 모션 제어, 반복 위치 정밀도 ±0.05mm로 웨이퍼 스크래치 및 먼지 오염 위험을 크게 줄입니다.
- 전체 장비는 탈기 방지 소재를 사용하고 내부 먼지 방지 최적화를 적용하여 박막, 에칭 및 이온 주입 공정에 대한 반도체 클린룸 표준을 완전히 준수합니다.
- XU-RC350D-K01 리퍼비시 테스트 완료 로봇 재고 보유, 3개월 보증, 운전 매뉴얼, 배선도 및 원격 문제 해결 서비스 제공. 다양한 글로벌 배송 옵션 제공, 수입 관세 및 현지 ICMS 세금은 구매자 부담.
Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:신품 정품. 1년 보증 포함.
Q2:결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 이내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며 일정은 고객센터로 문의해 주십시오.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 전 과정 모니터링 제공.
Q5:포장 및 안전
A:원 브랜드 포장에 강화 보호 적용 (폼, 밀봉 박스, 정밀 기어용 목재 상자). 방습 및 충격 방지.