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신품 MKS DLT2A2-33200 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-33200 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

신품 MKS DLT2A2-33200 DELTA IV 유량 비율 컨트롤러

고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 있음 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    DLT2A2-33200
  • 주문(MOQ):

    1
  • 지불:

    100% T/T
  • 제품 원산지:

    USA
  • 색상:

    As Model
  • 선적항:

    Xiamen
  • 리드타임:

    2-3 days
  • 제품 세부정보

설명:

MKS DELTA IV(또는 Delta IV로 표기)는 컴팩트한 고정밀 4존 유량 비율 컨트롤러(FRC)로, 공정 가스 흐름을 여러 존 또는 챔버로 정확하게 분배하고 제어합니다. MKS의 유명한 DELTA 시리즈의 일부로서, 첨단 제조를 위한 폐루프 비율 제어를 제공하여 웨이퍼, 패널 또는 기판 전반에 걸쳐 일관된 가스 분배를 보장합니다. 식각(etch), PECVD, 스퍼터링(sputtering), ALD 공정에 이상적이며, DELTA IV는 수동 밸브와 고정 오리피스의 불안정성을 제거하여 뛰어난 균일성과 공정 재현성을 제공합니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. MKS DELTA IV 4존 유량 비율 컨트롤러
  2. 정밀 가스 분배: 1 입력 → 4개의 제어 출력
  3. 범위: 채널당 500 / 1,000 / 2,000 / 10,000 sccm
  4. 비율 정확도 ±2%, 반복 정밀도 ±0.3%
  5. EtherCAT 또는 DeviceNet 디지털 통신
  6. 컴팩트한 반도체 등급 구조 (5 μin Ra)
 
 
 

응용 분야:

  1. 반도체: 식각, PECVD, ALD, 스퍼터링, 웨이퍼 수준 균일성 제어
  2. 플랫 패널 & 디스플레이: 대면적 공정을 위한 균일 가스 분배
  3. 태양광 & PV: 박막 증착, 챔버 유량 밸런싱
  4. 산업용 진공: 플라즈마 세정, 표면 처리, 다중 존 코팅

 

 

자주 묻는 질문:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.

Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, PayPal 지원됩니다.

Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되며, 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.

Q4: 배송 & 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링합니다.

Q5: 포장 & 안전

 

A: 정품 브랜드 포장으로 강화 보호 처리(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트 포함). 방습 및 충격에 강합니다.

 

 

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