설명:
MKS Baratron 정전용량 마노미터는 반도체 진공 공정 장비를 위한 업계 표준으로, 프리미엄 고정밀 절대 진공/압력 트랜스듀서입니다. 특허 받은 정전용량 다이어프램 센싱 기술을 기반으로 가스 종류에 독립적인 압력 측정을 제공하며, 공정 가스 조성의 영향을 전혀 받지 않습니다. AMAT, LAM Research 및 주류 웨이퍼 제조 플랫폼과 폭넓게 매칭되어 에칭, CVD, PVD, ALD 및 가스 공급 시스템에서 초고안정 폐루프 압력 제어를 제공하며, 반도체 제조에서 일관된 챔버 진공 정밀도를 보장하고 생산 수율을 향상시킵니다.
주요 사양:
- 최상급 정확도 최대 ±0.25% of reading, 0.01% Full Scale의 초미세 분해능, 반도체 공정의 엄격한 요구사항을 충족하는 우수한 장기 안정성과 최소 드리프트MKS.
- 다이어프램 및 접액부는 Inconel® / Incoloy® 니켈 합금 또는 316L 스테인리스 스틸을 적용하며, 전면 용접 구조로 제작되어 부식성 특수 공정 가스에 강합니다. 출고 전 100% 누설 테스트를 거쳐 혹독한 플라즈마 환경에서도 안전한 운전을 보장합니다.
- 초미세 진공부터 고압까지 지원: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. 가열 모델(45℃ / 100℃ 옵션)은 휘발성 공정 매체의 응축을 효과적으로 방지하여 측정 편차를 방지합니다.
적용 분야:
- 반도체 팹 장비: AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300 식각 시스템
- 박막 증착, 플라즈마 식각 및 이온 주입을 위한 정밀 진공 제어
- MFC 가스 캐비닛, 진공 펌핑 시스템, 누설 감지 및 압력 안전 인터록
- 태양광 PV, LED 코팅, 제약 진공 공정 및 실험실 고정밀 진공 테스트
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 신제품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 & 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링.
Q5: 포장 & 안전
A: 오리지널 브랜드 포장에 강화 보호 적용 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 & 충격 방지.