설명:
MKS Diaphragm Valves는 고순도 가스, 진공 및 핵심 유체 공정 산업을 위해 특별히 개발된 정밀 설계 격리 및 스로틀링 제어 밸브로, 반도체, 진공 코팅, 바이오테크 및 정밀 화학 분야에서 MKS의 수십 년에 걸친 정밀 유체 제어 기술에서 비롯되었습니다. 핵심 다이어프램 격리 구조를 채택하여 유연한 다이어프램이 공정 매질을 액추에이터 및 내부 구동 부품과 완전히 분리함으로써 외부 누설 제로, 초청정 유로 및 정밀 온/오프 및 비례 유량 제어를 실현하며, MKS 질량 유량 컨트롤러, 압력 트랜스듀서 및 공정 제어 시스템과 폭넓게 매칭되어 완전한 산업용 유체 솔루션을 제공합니다.
주요 사양:
- 다이어프램 격리 설계는 외부 누설 위험을 제거하며, 데드 스페이스가 없는 매끄러운 내부 유로는 입자 축적을 방지하고 초고순도 가스 및 위생 생산 기준을 충족하여 클린룸 및 반도체 웨이퍼 제조에 이상적입니다.
- 선택 가능한 다이어프램 재질: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE. 불활성 가스, 부식성 화학 가스, 고순도 액체, 용매 및 저점도 슬러리에 호환되며, 고온 공정 모델의 경우 -10℃에서 최대 150℃까지의 작동 온도에 적응합니다.
- 정품 MKS 제어 드라이버 및 유량 센서와 결합 시 고정밀 폐루프 유량/압력 조정을 구현하며, 조절 가능한 유량 범위는 0.1sccm~50000sccm를 커버하고 뛰어난 저유량 제어 안정성을 제공하며, 최소 제어 유량은 풀 스케일의 0.1%까지 가능합니다.
- 수동, 솔레노이드 전동, 공압 구동(노멀 오픈/노멀 클로즈) 방식으로 제공되며, 엔드 연결 방식은 VCR, KF 플랜지, NPT 나사, ISO 표준 플랜지를 포함하여 글로벌 주요 배관 규격에 적합합니다.
- 밸브 전체 분해 없이 신속 교체 가능한 다이어프램; 컴팩트한 일체형 구조로 예비 부품 비용과 장비 다운타임을 줄이며, 빈번한 스위칭 작업 조건에서도 높은 사이클 피로 내구성을 제공합니다.
- 공장 출하 전 엄격한 누설 테스트를 거치며, 코팅, 증발 및 박막 증착 장비의 고진공/초고진공 배관 격리에 적용 가능합니다.
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품이며, 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며 일정은 고객 서비스에 문의해 주십시오.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능하며, 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 정품 브랜드 포장에 보강 보호재(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트)를 사용합니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.