설명:
미국에서 제조된 Original MKS 직각(right-angle) 진공 스로틀 버터플라이 밸브로, 고진공 공정에서 정밀한 배기 유량 및 챔버 압력 제어를 위해 설계되었습니다. 독특한 90° 직각 구조는 캐비닛 설치 공간을 절약하며, 내장된 고속 스테핑 모터와 고해상도 위치 엔코더가 매우 안정적인 선형 압력 제어를 제공합니다. 저아웃가싱(low-outgassing) 씰링을 적용한 스테인리스 스틸 밸브 바디로 다양한 플랜지 규격과 호환되며, 아날로그/디지털 통신 옵션을 지원합니다. 신규 정품 및 완전 리퍼비시 테스트 완료 제품을 재고로 보유하고 있으며, 글로벌 DAP 배송 및 완전한 기술 문서 지원을 제공합니다.
주요 사양:
- 수직 90도 공기 흐름 설계로 수평 배관 점유를 크게 줄이며, 컴팩트한 반도체 클러스터 장비 및 진공 캐비닛 내부에 쉽게 설치할 수 있습니다.
- 특허받은 비선형 구동 메커니즘은 플래퍼 움직임을 최적화하여 선형 유량 조정을 실현하며, 최소한의 압력 오버슈트와 안정적이고 반복 가능한 공정 레시피를 제공합니다.
- 고토크 스테핑 모터로 200ms 이내 완전 개방/폐쇄가 가능하며, 두꺼워진 플래퍼는 먼지 축적을 방지하여 식각 및 증착의 부식성 가스 환경에서도 긴 수명을 제공합니다.
- 완전 스테인리스 스틸 밸브 바디와 저아웃가싱 불소 고무 씰을 적용하여 고진공 클린룸 기준을 충족하며, 공정 가스 응축을 방지하기 위해 최대 200℃까지 가열 버전을 지원합니다.
- 다양한 플랜지 옵션: ISO-KF, ISO-F, CF; 0-10V 아날로그, RS232, EtherCAT, DeviceNet 통신을 지원합니다. 전체 모델 재고 보유, 배선도, 운영 매뉴얼 및 원격 기술 지원을 제공합니다.
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 신규 정품 제품이며 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 얼마나 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 이내에 배송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객센터로 문의해 주시기 바랍니다.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크가 제공됩니다. 당사에서 전 과정 모니터링을 지원합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 오리지널 브랜드 포장과 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 기어용 목재 크레이트)를 사용합니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.