설명:
미국에서 제조된 Original MKS 직각 진공 스로틀 버터플라이 밸브로, 고진공 공정에서 정밀한 배기 유량 및 챔버 압력 제어를 위해 설계됨. 독특한 90° 직각 레이아웃으로 캐비닛 설치 공간을 절약하며, 내장된 고속 스테핑 모터와 고해상도 위치 엔코더가 매우 안정적인 선형 압력 제어를 제공. 저아웃가싱(low-outgassing) 씰링이 적용된 스테인리스 스틸 밸브 바디로, 다양한 플랜지 표준과 호환되며 아날로그/디지털 통신 옵션 제공. 신규 정품 및 완전 리퍼비시 테스트 완료된 재고 보유, 글로벌 DAP 배송 및 완전한 기술 문서 지원.
주요 사양:
- 수직 90도 공기 흐름 설계로 수평 배관 점유를 크게 줄이며, 소형 반도체 클러스터 장비 및 진공 캐비닛 내부에 쉽게 설치 가능.
- 특허 받은 비선형 구동 메커니즘은 플래퍼 움직임을 최적화하여 선형 유량 조절을 구현하고, 최소 압력 오버슈트와 안정적이고 반복 가능한 공정 레시피를 실현.
- 고토크 스테핑 모터, 완전 개폐 200ms 이내; 두꺼워진 플래퍼는 먼지 축적을 방지하며, 식각 및 증착의 부식성 가스 환경에서도 긴 수명 보장.
- 전체 스테인리스 스틸 밸브 바디, 저아웃가싱 불소 고무 씰 적용으로 고진공 클린룸 기준 충족; 최대 200℃까지 가열 버전 지원으로 공정 가스 응축 방지.
- 다양한 플랜지 옵션: ISO-KF, ISO-F, CF; 0-10V 아날로그, RS232, EtherCAT, DeviceNet 통신 지원. 전체 모델 재고 보유, 배선도, 사용 설명서 및 원격 기술 지원 제공.
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 신품 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며, 일정은 고객센터에 문의 바랍니다.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 및 링크 제공. 전 과정 모니터링 지원.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장에 강화 보호 적용(폼, 밀봉 박스, 정밀 기어용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.