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새 제품 Lam Research 98008RFRSA10P1 질량 유량 컨트롤러

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새 제품 Lam Research 98008RFRSA10P1 질량 유량 컨트롤러

고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

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  • 품목 번호.:

    98008RFRSA10P1

  • 주문(MOQ):

    1

  • 지불:

    100% T/T

  • 제품 원산지:

    USA

  • 색상:

    As Model

  • 선적항:

    Xiamen

  • 리드타임：

    2-3 days
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  • 제품 세부정보

설명:

LAM Research MFC는 반도체 제조에서 미션 크리티컬한 구성 요소로, LAM의 식각(etch), 애싱(ash), 증착(deposition) 시스템에서 가스 유량을 매우 높은 정확도로 제어하도록 설계되었습니다. 5nm–7nm 노드 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 제작되었으며, 이 컨트롤러는 일관된 가스 공급을 유지하여 웨이퍼 균일성, 수율 및 공정 안정성에 직접적인 영향을 미칩니다. 불소계 식각 가스, 불활성 캐리어 가스 또는 반응성 증착 가스 등 어떤 경우에도 LAM MFC는 24/7 클린룸 환경에서 신뢰성 있고 반복 가능한 성능을 제공합니다.
 
 
주요 사양:
  1. LAM Research OEM mass flow controller (MFC)
  2. ±1% FS 정확도, 나노스케일 공정을 위한 ±0.1% 반복성
  3. 범위: 10 sccm–10 slm; NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar 호환
  4. 인터페이스: 아날로그 (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. 유체 접촉부 316L SS/PTFE; 1/4" VCR 피팅
 

 

일반 응용 분야:

  1. 반도체 식각: 유전체, 도체 및 실리콘 식각 공정 (2300 Versys, TCP9600)
  2. 증착 (CVD/PVD): 첨단 노드용 박막 증착
  3. 플라즈마 공정: 애싱, 스트리핑 및 표면 처리
  4. 웨이퍼 제조: 200mm/300mm 팹, 5nm–7nm 공정

 

 

FAQ:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 신제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.

Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.

Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.

Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 발송 후 운송장 번호 + 링크가 제공됩니다. 전 과정 모니터링을 지원합니다.

Q5: 포장 및 안전

 

A: 원래 브랜드 포장과 강화 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트)을 사용합니다. 습기 및 충격에 강합니다.

 

 

관련 태그 : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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