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새 제품 Lam Research 778-900046-323 Temperature Control Board

새 제품 Lam Research 778-900046-323 Temperature Control Board

새 제품 Lam Research 778-900046-323 Temperature Control Board

고정밀, 안정적인 성능

산업 자동화에 적합

재고 있음 & 전 세계 빠른 배송

  • 품목 번호.:

    778-900046-323

  • 주문(MOQ):

    1

  • 지불:

    100% T/T

  • 제품 원산지:

    USA

  • 색상:

    As Model

  • 선적항:

    Xiamen

  • 리드타임：

    2-3 days
지금 문의하세요
  • 제품 세부정보

설명:

Lam Research 온도 제어 보드는 반도체 식각, 증착 및 웨이퍼 처리 시스템을 위한 핵심 열 관리 구성 요소입니다. 이 제품은 공정 챔버, 정전척(ESC), 웨이퍼 스테이지 전반에 걸쳐 엄격한 열 균일성을 유지하기 위해 고정밀 다채널 온도 제어를 제공합니다. 고진공, 고온 및 플라즈마 환경에서 24시간 365일 연속 운전을 위해 설계되었으며, 안정적인 웨이퍼 온도를 보장하고 공정 레시피를 안정화하며 생산 수율을 극대화합니다. 정품 Lam OEM 보드는 플러그 앤 플레이 호환성, 정밀 보정 및 첨단 노드(2nm/3nm) 반도체 팹을 위한 장기 신뢰성을 보장합니다.
 
 
 
주요 사양:
  1. 정품 Lam Research PCB 어셈블리로, Kiyo 식각 장비, ExAL 플랫폼 및 CVD/PVD 시스템과 완전 호환됩니다. 공장 보정 및 테스트를 통해 원활한 통합을 보장합니다.
  2. 16–24채널(Pt100 RTD/열전대 입력)을 지원하며, 자동 튜닝 PID 알고리즘을 통해 25–150°C 범위에서 ±0.1°C 안정성을 달성합니다.
  3. 가열/냉각을 위한 폐루프 제어(TEC 호환); 500Hz 샘플링의 실시간 센서 피드백; 주변 드리프트 및 센서 지연 보상 기능을 제공합니다.
  4. 진공 등급(≤1×10⁻⁶ Torr), EMI 차폐, 진동 저항성을 갖추었으며; 플라즈마 및 RF 간섭 내성으로 0–55°C에서 안정적으로 작동합니다.
  5. 빠른 교체를 위한 모듈형 핫스왑 가능 설계; 온도, 센서 상태 및 오류 로그를 위한 온보드 진단 기능; 비계획 가동 중단을 줄입니다.
 

 

일반적인 적용 분야:

  1. Lam Research 플라즈마 식각 시스템 (Kiyo, ExAL, 9000 시리즈)
  2. CVD/PVD/ALD 박막 증착 장비
  3. 200mm / 300mm 웨이퍼 공정 챔버 및 ESC
  4. 첨단 로직/메모리 팹 (2nm/3nm 노드)
  5. 반도체 팹 유지보수, 예비 부품 및 업그레이드

 

 

자주 묻는 질문:

Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품이며, 1년 보증이 포함됩니다.

Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.

Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주십시오.

Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 배송 후 운송장 번호와 링크 제공. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.

Q5: 포장 및 안전

 

A: 정품 브랜드 포장과 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.

 

 

관련 태그 : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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