설명:
Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇 컨트롤러는 Brooks Automation(미국)이 반도체 제조를 위해 설계한 고정밀 클린룸 등급 모션 제어 시스템입니다. Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇의 핵심 제어 유닛으로서, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼를 반도체 팹에서 정밀하고 신뢰성 있으며 오염 없이 이송할 수 있게 하며, EFEM(Equipment Front-End Module) 및 공정 장비 자동화의 핵심 구성 요소로 사용됩니다.
주요 사양:
- 원산지 및 적용 분야: 미국에서 제조된 반도체 클린룸 자동화 전용 컨트롤러로, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼 핸들링에 최적화되어 있으며 EFEM 및 전공정 생산 시스템의 핵심 제어 유닛으로 사용됩니다.
- 고정밀 성능: 다축 서보 제어와 마이크로미터 수준의 위치 정확도를 갖추어 대기 및 진공 환경에서 안정적이고 고속이며 손상 없는 웨이퍼 이송을 가능하게 합니다.
- 우수한 호환성: ESD 및 엄격한 클린룸 기준을 준수합니다. SECS/GEM 및 Ethernet을 지원하여 팩토리 호스트 시스템과 쉽게 연결됩니다.
- 신뢰성 높은 운용: 24시간 연속 가동을 위해 현장에서 검증되었습니다. 유지보수, 교체 및 레거시 반도체 생산 라인 업그레이드를 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 선택입니다.
일반 적용 분야:
- FOUP 로딩, 언로딩 및 웨이퍼 프리얼라인먼트 자동화
- 식각, 증착 및 리소그래피 공정용 웨이퍼 이송
- 웨이퍼 테스트, 검사 및 계측 워크플로우 지원
- 생산 라인, R&D 및 파일럿 클린룸 프로젝트에 적합
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 정품 새 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3~5 영업일 내 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객센터에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장으로 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)가 적용됩니다. 방습 및 충격 방지 처리되었습니다.