설명:
Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇 컨트롤러는 Brooks Automation (USA)가 반도체 제조를 위해 설계한 고정밀 클린룸 등급 모션 제어 시스템입니다. Brooks PRI 웨이퍼 핸들링 로봇의 핵심 제어 유닛으로서, 150mm, 200mm, 300mm 웨이퍼의 정밀하고 신뢰성 있으며 오염 없는 이송을 반도체 팹에서 가능하게 하며, EFEM (Equipment Front-End Module) 및 공정 장비 자동화의 핵심 구성 요소로 사용됩니다.
주요 사양:
- 원산지 및 적용: 반도체 클린룸 자동화 전용으로 미국에서 제조된 컨트롤러로, 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼 핸들링에 최적화되어 있으며 EFEM 및 프론트엔드 생산 시스템의 핵심 제어 유닛으로 작동합니다.
- 고정밀 성능: 다축 서보 제어와 마이크론 수준의 위치 정밀도를 갖추어 대기 및 진공 환경에서 안정적이고 고속이며 손상 없는 웨이퍼 이송을 가능하게 합니다.
- 우수한 호환성: ESD 및 엄격한 클린룸 기준을 준수합니다. SECS/GEM 및 Ethernet을 지원하여 공장 호스트 시스템과의 손쉬운 연결을 제공합니다.
- 신뢰성 있는 운영: 24시간 연속 가동을 위해 현장 테스트를 거쳤습니다. 기존 반도체 생산 라인의 유지보수, 교체 및 업그레이드를 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 선택입니다.
일반적인 적용 분야:
- FOUP 적재, 하역 및 웨이퍼 사전 정렬 자동화
- 식각, 증착 및 리소그래피 공정을 위한 웨이퍼 이송
- 웨이퍼 테스트, 검사 및 계측 워크플로우 지원
- 생산 라인, R&D 및 파일럿 클린룸 프로젝트에 적합
자주 묻는 질문:
Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:신품 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2:결제 조건은 어떻게 되나요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의하시기 바랍니다.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링합니다.
Q5:포장 및 안전
A:원 브랜드 포장에 보강 보호 적용(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지 처리.