설명:
DUV/EUV 리소그래피 시스템용 Original ASML 레이저 모듈. 레이저 이미터, 광학계 및 제어 전자장치를 통합하여 초정밀 빔 생성, 정렬 및 계측을 지원합니다. 첨단 노드 반도체 제조를 위한 핵심 OEM 구성요소입니다.
주요 사양:
- 초고정밀 및 안정성: 나노미터 수준의 빔 위치 정확도; 파장 안정성 ≤ ±0.01 nm; 7nm/5nm/3nm 첨단 노드 지원.
- 다중 파장 호환성: DUV (193nm ArF / 248nm KrF) 및 EUV (13.5nm) 스펙트럼을 지원; EUV 펌프 레이저용 선택 사양 적외선 (10.6μm CO₂).
- 통합 광학 설계: 고급 렌즈, 미러, 회절격자 및 빔 스플리터 내장; 일관된 노광을 위한 실시간 빔 보정 (≤0.5 nm RMS).
- 스마트 전자 제어: 온보드 레이저 드라이버, 온도 컨트롤러 및 전력 조절; 공정 요구에 따른 동적 출력 조정 (10%–100%).
- 클린룸 등급 신뢰성: 완전 밀봉 구조, ISO Class 1 클린룸 준수; 최소 드리프트로 24/7 운전; 핵심 회로 삼중 중복 설계.
- 고속 동기화: 최대 100 kHz 펄스 주파수; 타이밍 동기화 오차
일반적인 적용 분야:
- DUV 침지 리소그래피 (TWINSCAN NXT:2000i/2100i)
- EUV 리소그래피 (NXE:3400B / EXE:5200)
- 웨이퍼 계측 및 검사 시스템
- 포토마스크/레티클 정렬 및 검사
- 첨단 반도체 공정 R&D
FAQ:
Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:새 제품 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2:결제 조건은 어떻게 되나요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송. 희소 모델은 제조사 주문 필요—일정은 고객 서비스에 문의.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀의 전 과정 모니터링.
Q5:포장 및 안전
A: 강화된 보호 포장 포함 정품 브랜드 패키징 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 습기 및 충격 방지.