설명:
이 가스 유량 제어 모듈(질량 유량 컨트롤러, MFC라고도 함)은 Applied Materials (AMAT) 및 기존 Varian 반도체 장비의 핵심 구성 요소입니다. 이 장치는 식각, 증착 및 이온 주입 시스템에서 공정 가스의 유량을 정밀하게 제어합니다. 높은 정확도, 뛰어난 안정성 및 내식성을 갖추고 있어 안정적인 가스 공급을 보장함으로써 신뢰성 있는 웨이퍼 공정 및 생산 수율을 유지합니다.
주요 사양:
- 우수한 반복 정밀도를 갖춘 정확한 유량 제어를 제공합니다. 빠른 응답성과 압력 보상 기능으로 연속 운전 중 유량 변동을 최소화합니다.
- 부식성 및 고순도 가스를 포함한 다양한 반도체 공정 가스와 호환됩니다. 다양한 공정 요구를 충족하기 위해 여러 표준 유량 범위를 지원합니다.
- 고급 스테인리스 스틸과 내구성 있는 합금으로 제작되어 가혹한 진공 및 가스 환경에 적합합니다. 24시간 365일 장기 안정 운전을 지원합니다.
- AMAT 및 Varian 생산 장비와의 원활한 연결 및 데이터 교환을 위해 주요 산업용 통신 포트를 갖추고 있습니다.
- 과압 및 누설 보호 기능이 통합되어 있습니다. 실시간 자가 진단 기능으로 고장을 신속하게 파악하고 가동 중지 시간을 줄입니다.
적용 분야:
- 반도체 식각, CVD, PVD, ALD 및 이온 주입 시스템
- AMAT Endura, Centura 및 Varian VIISta 시리즈 장비
- 박막 제조, LED 및 태양광 생산 라인
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 새 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀의 전 과정 모니터링 제공.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장에 보강된 보호(폼, 밀봉된 상자, 정밀 장비용 목재 크레이트)를 적용합니다. 방습 및 충격에 강합니다.