설명:
AMAT MKS‑CITI(또는 MKS‑CIT로 표기됨)는 Applied Materials(AMAT)와 MKS Instruments가 공동 개발한 반도체 진공 및 가스 공급 시스템용 소형 고신뢰성 공정 및 통신 컨트롤러입니다. 가장 일반적인 부품 번호는 0190‑22543(모델 AS00224‑03, 흔히 FI 컨트롤러 Rev 002라고 불림)입니다. AMAT의 공정 장비(식각/CVD/PVD)와 MKS 질량 유량 컨트롤러, 압력 트랜스듀서, 밸브 모듈 간의 인터페이스 역할을 하며, 진공 및 혹독한 팹 환경에서도 정확한 가스/유체 제어를 보장합니다.
주요 사양:
- 100 × 60 × 25 mm, 약 0.1 kg; 금속 케이스, 진동/EMI 내성; 작동 온도 범위 ‑20°C ~ +70°C.
- 내장 고속 프로세서; 디지털 입력 16 / 출력 8; 압력/유량 폐루프 제어용 아날로그 I/O.
- 기본 Modbus RTU/TCP, RS‑485, DeviceNet 지원; AMAT Centura/Endura 통합용 Ethernet/IP 및 Profinet 옵션 제공.
- 저가스 방출 재료; CE, UL/cUL 60950, RoHS 준수; 내장 진단 및 오류 교정 기능 포함.
응용 분야:
- AMAT Centura, Endura, AKT CVD 시스템
- 반도체 식각, CVD, PVD, ALD 공정 챔버
- MKS 가스 유량 제어(MFC) 및 압력 조절 서브시스템
- 진공 챔버 I/O, 히터 및 밸브 제어 루프
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 완전 신제품 정품. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 얼마나 걸리나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3~5 영업일 내 발송. 희귀 모델은 제조사 주문 필요—배송 기간은 고객 서비스에 문의.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 배송 후 운송장 번호 및 링크 제공. 전체 과정은 저희 팀이 모니터링.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장, 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자) 적용. 습기 및 충격 방지.