설명:
AMAT MKS-CITI(MKS-CIT로도 표기됨)는 Applied Materials (AMAT)와 MKS Instruments가 반도체 진공 및 가스 공급 시스템을 위해 공동 개발한 소형 고신뢰성 공정 및 통신 컨트롤러입니다. 가장 일반적인 부품 번호는 0190-22543(모델 AS00224-03, 흔히 FI Controller Rev 002라고 불림)입니다. 이 제품은 AMAT의 공정 장비(etch/CVD/PVD)와 MKS 질량 유량 컨트롤러, 압력 트랜스듀서, 밸브 모듈 사이의 인터페이스 역할을 하며, 진공 및 열악한 팹 환경에서 정밀한 가스/유체 제어를 보장합니다.
주요 사양:
- 100 × 60 × 25 mm, 약 0.1 kg; 금속 케이스, 진동/EMI 저항성; -20°C ~ +70°C 작동 범위.
- 내장 고속 프로세서; 16 디지털 입력 / 8 출력; 압력/유량 폐루프 제어를 위한 아날로그 I/O.
- 기본 지원 Modbus RTU/TCP, RS-485, DeviceNet; AMAT Centura/Endura 통합을 위한 Ethernet/IP 및 Profinet 옵션.
- 저아웃가스 재질; CE, UL/cUL 60950, RoHS 준수; 내장 진단 및 오류 수정 기능.
적용 분야:
- AMAT Centura, Endura, AKT CVD 시스템
- 반도체 식각, CVD, PVD, ALD 공정 챔버
- MKS 가스 유량 제어(MFC) 및 압력 조절 서브시스템
- 진공 챔버 I/O, 히터 및 밸브 제어 루프
FAQ:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:정품 새 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의하십시오.
Q4: 배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사에서 전 과정 모니터링.
Q5: 포장 및 안전
A: 정품 브랜드 포장 및 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 저항.