설명:
AMAT ESC Power Supply는 Applied Materials 반도체 장비의 Electrostatic Chucks (ESCs) 전용으로 설계된 고전압·고정밀 전원 공급 장치입니다. 에칭, 증착, 이온 주입 공정 동안 웨이퍼를 안정적으로 클램핑하기 위해 안정적인 양극성 DC 고전압을 제공하며, 초균일 온도 및 플라즈마 제어를 보장합니다. 핵심 OEM 예비 부품으로서 AMAT의 200mm/300mm 웨이퍼 처리 시스템과 완전히 호환되며, 고진공, 고온 및 RF 플라즈마 환경에서 장기적인 페일세이프 운전을 지원합니다.
주요 사양:
- 원래 AMAT 사양으로, 완벽한 기계적 및 전기적 호환성을 제공합니다. 별도의 수정 없이 직접 교체 가능합니다.
- Coulombic 및 Johnsen-Rahbek (JR) ESC 유형 모두 지원하며, 유연한 공정 튜닝을 위한 극성 전환이 가능합니다.
- 85% 이상의 고효율을 갖춘 공간 절약형 설계입니다. 기존 장비 랙에 쉽게 통합할 수 있습니다.
- 원격 모니터링, 파라미터 설정 및 데이터 로깅을 위한 표준 DB9/DB15, RS-232/485 또는 Ethernet 인터페이스를 제공합니다.
- AMAT Centura, Producer, Endura 및 Quantum 시리즈 시스템에서 엄격한 테스트 및 인증을 거쳤습니다. 긴 MTBF(평균 무고장 시간)를 제공합니다.
적용 분야:
- 에칭 시스템: Centura, Producer, ExAL
- 증착 시스템: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
- 이온 임플란터: Quantum Leap, Quantum X
- 200mm / 300mm 웨이퍼 팹: 대량 생산 및 유지보수
FAQ:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 신규 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고가 있으며, 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장에 강화 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)을 적용합니다. 방습 및 충격 방지 설계입니다.