설명:
AMAT Inficon 진공 밸브는 Applied Materials (AMAT) 진공 및 가스 공급 시스템의 미션 크리티컬 구성 요소로, Inficon이 고진공(HV) 및 초고진공(UHV) 반도체 공정을 위해 설계 및 제작한 제품입니다. 이들은 챔버를 격리하고, 가스 흐름을 제어하며, 진공 무결성을 유지하고, 식각, PVD, CVD, ALD 및 로드락 애플리케이션에서 교차 오염을 방지합니다. 일반적인 AMAT 부품 번호에는 0190-23498, 0190-46389, 0190-07970이 포함되며, Inficon 모델로는 VAP040-Z, VAM025A가 있습니다.
주요 사양:
- Inficon 진공 밸브, Applied Materials (AMAT)용 OEM
- 초저 누설률 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He, UHV 호환
- 모델: VAP040-Z, VAM025A, VAH040; AMAT P/N: 0190-23498, 0190-46389
- 316L 스테인리스 스틸 본체, 전해 연마 처리; Kalrez®/금속 씰 옵션
- 공압/솔레노이드 구동; ≤0.5초 응답, ≥100만 회 사이클
적용 분야:
- 반도체 식각: 유전체, 도체 및 실리콘 식각 챔버 격리.
- 증착(PVD/CVD/ALD): 공정 가스 라인 제어 및 로드락 격리.
- 진공 핸들링: 트랜스퍼 챔버, 로드락 및 펌프 라인 격리.
- AMAT 플랫폼: Centura, Endura, Producer, ExAL (200mm/300mm 팹).
- 첨단 노드: 7nm–3nm 공정, 3D NAND 및 GAA 소자.
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻습니까?
A: 신규 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 일정은 고객센터에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원래 브랜드 포장에 강화 보호(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)를 적용합니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.