설명:
이 가스 유량 제어 모듈은 Mass Flow Controller (MFC)라고도 알려져 있으며, Applied Materials (AMAT) 및 기존 Varian 반도체 장비의 핵심 구성 요소입니다. 식각, 증착 및 이온 주입 시스템에서 공정 가스의 흐름을 정밀하게 제어합니다. 높은 정확도, 뛰어난 안정성 및 내식성을 갖추어 일관된 가스 공급을 보장함으로써 안정적인 웨이퍼 공정과 생산 수율을 유지합니다.
주요 사양:
- 우수한 반복성과 함께 정확한 유량 제어를 제공합니다. 빠른 응답성과 압력 보상 기능으로 연속 운전 중 유량 변동을 최소화합니다.
- 부식성 및 고순도 가스를 포함한 다양한 반도체 공정 가스에 대응합니다. 다양한 공정 요구사항을 충족하기 위해 여러 표준 유량 범위를 지원합니다.
- 고급 스테인리스강 및 내구성 합금으로 제작되어 가혹한 진공 및 가스 환경에 적합합니다. 24시간 365일 장기 안정 운전을 지원합니다.
- AMAT 및 Varian 생산 장비와의 원활한 연결 및 데이터 교환을 위해 주요 산업용 통신 포트를 갖추고 있습니다.
- 과압 및 누설 보호 기능이 통합되어 있습니다. 실시간 자가 진단으로 고장을 신속하게 파악하고 다운타임을 줄입니다.
적용 분야:
- 반도체 식각, CVD, PVD, ALD 및 이온 주입 시스템
- AMAT Endura, Centura 및 Varian VIISta 시리즈 장비
- 박막 제조, LED 및 태양광 생산 라인
자주 묻는 질문:
Q1:제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A:신품 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2:결제 조건은 어떻게 되나요?
A:T/T, Paypal 지원
Q3: 제품의 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내에 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주시기 바랍니다.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 전 과정은 당사에서 모니터링합니다.
Q5:포장 및 안전
A:원 브랜드 포장에 강화 보호 적용 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격에 강함.