설명:
AMAT Inficon 진공 밸브는 Applied Materials (AMAT)의 진공 및 가스 공급 시스템에서 미션 크리티컬 구성 요소이며, Inficon에서 고진공(HV) 및 초고진공(UHV) 반도체 공정에서 신뢰성 있는 성능을 위해 설계 및 제작되었습니다. 이들은 챔버를 격리하고, 가스 흐름을 제어하며, 진공 무결성을 유지하고, 식각(etch), PVD, CVD, ALD 및 로드락(load-lock) 응용 분야에서 교차 오염을 방지합니다. 일반적인 AMAT 부품 번호에는 0190-23498, 0190-46389, 0190-07970이 포함되며, Inficon 모델로는 VAP040-Z, VAM025A가 있습니다.
주요 사양:
- Inficon 진공 밸브, Applied Materials (AMAT)용 OEM
- 초저 누설률 ≤1×10⁻⁹ atm·cc/s He, UHV 호환
- 모델: VAP040-Z, VAM025A, VAH040; AMAT P/N: 0190-23498, 0190-46389
- 316L SS 본체, 전해 연마 처리; Kalrez®/금속 씰 옵션
- 공압/솔레노이드 구동; ≤0.5초 응답, ≥1M 사이클
응용 분야:
- 반도체 식각: 유전체, 도체 및 실리콘 식각 챔버 격리.
- 증착(PVD/CVD/ALD): 공정 가스 라인 제어 및 로드락 격리.
- 진공 핸들링: 이송 챔버, 로드락 및 펌프 라인 격리.
- AMAT 플랫폼: Centura, Endura, Producer, ExAL (200mm/300mm fabs).
- 첨단 노드: 7nm–3nm 공정, 3D NAND 및 GAA 디바이스.
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품 제품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 기간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의해 주세요.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 추적 번호 + 링크 제공. 당사 팀이 전 과정 모니터링.
Q5: 포장 및 안전
A: 강화 보호가 적용된 정품 브랜드 포장 (폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 저항.