설명:
AMAT ESC Power Supply는 Applied Materials 반도체 장비의 Electrostatic Chucks (ESCs) 전용으로 설계된 고전압, 고정밀 전원 공급 장치입니다. 이 제품은 식각, 증착, 이온 주입 공정 동안 웨이퍼를 안전하게 고정하기 위해 안정적인 양극성 DC 고전압을 제공하며, 초균일 온도 및 플라즈마 제어를 보장합니다. 핵심 OEM 예비 부품으로서 AMAT의 200mm/300mm 웨이퍼 처리 시스템과 완벽하게 호환되며, 고진공, 고온 및 RF 플라즈마 환경에서 장기적이고 안전한 무고장 운전을 지원합니다.
주요 사양:
- AMAT 원본 사양, 완벽한 기계적 및 전기적 호환성. 수정 없이 직접 교체 가능.
- Coulombic 및 Johnsen-Rahbek (JR) ESC 유형 모두 지원; 유연한 공정 튜닝을 위한 극성 역전 가능.
- 고효율(>85%)의 공간 절약형 설계. 기존 장비 랙에 쉽게 통합 가능.
- 원격 모니터링, 파라미터 설정 및 데이터 로깅을 위한 표준 DB9/DB15, RS-232/485 또는 Ethernet 인터페이스.
- AMAT Centura, Producer, Endura 및 Quantum 시리즈 시스템에 대해 엄격하게 테스트 및 인증됨. 긴 MTBF(평균 무고장 시간).
응용 분야:
- 식각 시스템: Centura, Producer, ExAL
- 증착 시스템: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
- 이온 주입 장비: Quantum Leap, Quantum X
- 200mm / 300mm 웨이퍼 팹: 대량 생산 및 유지보수
자주 묻는 질문:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 신규 정품 제품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 제품의 결제 조건은 무엇인가요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 충분한 재고가 있나요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의하십시오.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 당사 팀의 전 과정 모니터링.
Q5: 포장 및 안전
A: 강화 보호가 적용된 정품 브랜드 포장 (폼, 밀봉 상자, 정밀 장비용 목재 크레이트). 습기 및 충격에 강함.