설명:
AMAT ESC Power Supply는 Applied Materials 반도체 장비의 Electrostatic Chucks (ESCs) 전용으로 설계된 고전압 고정밀 전원 공급 장치입니다. 이 장치는 안정적인 양극/음극 DC 고전압을 제공하여 식각(etching), 증착(deposition), 이온 주입(ion implantation) 공정 동안 웨이퍼를 안정적으로 고정하며, 초균일한 온도 및 플라즈마 제어를 보장합니다. 핵심 OEM 예비 부품으로서 AMAT의 200mm/300mm 웨이퍼 처리 시스템과 완벽하게 호환되며, 고진공, 고온 및 RF 플라즈마 환경에서도 장기적이고 안전한 무중단 운전을 지원합니다.
주요 사양:
- 원래 AMAT 사양으로, 완벽한 기계적 및 전기적 호환성을 제공합니다. 수정 없이 직접 교체 가능합니다.
- Coulombic 및 Johnsen-Rahbek (JR) ESC 유형을 모두 지원하며, 공정 튜닝의 유연성을 위한 극성 전환이 가능합니다.
- 고효율(>85%)의 공간 절약형 설계입니다. 기존 장비 랙에 쉽게 통합할 수 있습니다.
- 원격 모니터링, 파라미터 설정 및 데이터 로깅을 위한 표준 DB9/DB15, RS-232/485 또는 Ethernet 인터페이스를 제공합니다.
- AMAT Centura, Producer, Endura 및 Quantum 시리즈 시스템에 대해 엄격하게 테스트 및 인증되었습니다. 긴 MTBF (Mean Time Between Failures)를 제공합니다.
응용 분야:
- 식각 시스템: Centura, Producer, ExAL
- 증착 시스템: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
- 이온 주입기: Quantum Leap, Quantum X
- 200mm / 300mm 웨이퍼 팹: 대량 생산 및 유지보수
FAQ:
Q1: 제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A: 새 정품 제품이며, 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원됩니다.
Q3: 제품 배송 시간은 얼마나 걸리며, 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 배송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하므로 고객 서비스에 문의하여 일정 확인이 필요합니다.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능합니다. 배송 후 운송장 번호와 링크가 제공되며, 전 과정은 당사 팀에서 모니터링합니다.
Q5: 포장 및 안전
A: 원 브랜드 포장과 강화 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)을 사용합니다. 방습 및 충격 방지 처리가 되어 있습니다.