설명:
AMAT ESC Power Supply는 Applied Materials 반도체 장비의 정전척(ESC, Electrostatic Chucks) 전용으로 설계된 고전압 고정밀 전원 공급 장치입니다. 안정적인 양극성 DC 고전압을 공급하여 웨이퍼를 안정적으로 고정하며, 식각, 증착, 이온 주입 공정 동안 초균일 온도 및 플라즈마 제어를 보장합니다. 핵심 OEM 예비 부품으로서 AMAT의 200mm/300mm 웨이퍼 처리 시스템과 완벽하게 호환되며, 고진공, 고온 및 RF 플라즈마 환경에서도 장기적이고 안전한 무고장 운전을 지원합니다.
주요 사양:
- AMAT 원본 규격으로 기계적 및 전기적 호환성이 완벽하며, 별도의 수정 없이 직접 교체 가능.
- 쿨롱 방식(Coulombic) 및 존슨-라벡(Johnsen-Rahbek, JR) ESC 타입 모두 지원; 유연한 공정 튜닝을 위한 극성 전환 가능.
- 공간 절약형 설계와 높은 효율(>85%). 기존 장비 랙에 쉽게 통합 가능.
- 원격 모니터링, 파라미터 설정 및 데이터 로깅을 위한 표준 DB9/DB15, RS-232/485 또는 Ethernet 인터페이스.
- AMAT Centura, Producer, Endura 및 Quantum 시리즈 시스템에 대해 엄격한 테스트 및 인증 완료. 긴 MTBF(평균 고장 간격).
적용 분야:
- 식각 시스템: Centura, Producer, ExAL
- 증착 시스템: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
- 이온 주입 장비: Quantum Leap, Quantum X
- 200mm / 300mm 웨이퍼 팹: 대량 생산 및 유지보수
FAQ:
Q1: 제품 상태와 보증은 어떻게 되나요?
A: 신품 정품입니다. 1년 보증이 포함됩니다.
Q2: 결제 조건은 어떻게 되나요?
A: T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품의 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A: 표준 모델은 재고 보유, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희소 모델은 제조사 주문이 필요하며—일정은 고객 서비스에 문의하시기 바랍니다.
Q4: 배송 및 추적
A: DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호 + 링크 제공. 전 과정 모니터링 지원.
Q5: 포장 및 안전
A: 원 브랜드 포장 및 강화 보호(폼, 밀봉 상자, 정밀 장비용 목재 크레이트). 방습 및 충격 방지.