설명:
AMAT ESC 전원 공급 장치는 Applied Materials 반도체 장비의 Electrostatic Chucks (ESCs)에 전용으로 설계된 고전압 고정밀 전원 공급 장치입니다. 이는 안정적인 양극성 DC 고전압을 제공하여 식각, 증착 및 이온 주입 공정 중 웨이퍼를 안전하게 고정하고, 초고균일 온도 및 플라즈마 제어를 보장합니다. 중요한 OEM 예비 부품으로서 AMAT의 200mm/300mm 웨이퍼 처리 시스템과 완벽하게 호환되며, 고진공, 고온 및 RF 플라즈마 환경에서 장기간 무결점(fail-safe) 운전을 지원합니다.
주요 사양:
- AMAT 원 사양, 완벽한 기계 및 전기적 호환성. 수정 없이 직접 교체 가능.
- Coulombic 및 Johnsen-Rahbek (JR) ESC 유형 모두 지원; 공정 튜닝 유연성을 위한 극성 반전 가능.
- 공간 절약형 설계와 높은 효율(>85%). 기존 장비 랙에 쉽게 통합 가능.
- 원격 모니터링, 파라미터 설정 및 데이터 로깅을 위한 표준 DB9/DB15, RS-232/485 또는 Ethernet 인터페이스 지원.
- AMAT Centura, Producer, Endura 및 Quantum 시리즈 시스템용으로 엄격하게 테스트 및 인증됨. 긴 MTBF(평균 무고장 시간) 제공.
적용 분야:
- 식각 시스템: Centura, Producer, ExAL
- 증착 시스템: Precision 5000, Endura (CVD/PVD/ALD)
- 이온 주입 장비: Quantum Leap, Quantum X
- 200mm / 300mm 웨이퍼 팹: 대량 생산 및 유지보수
FAQ:
Q1:제품 상태 및 보증은 어떻게 되나요?
A:새 제품 정품입니다. 1년 보증 포함.
Q2: 결제 조건은 무엇인가요?
A:T/T, Paypal 지원.
Q3: 제품 배송 시간은 어떻게 되나요? 재고는 충분한가요?
A:표준 모델은 재고 보유 중이며, 결제 후 3–5 영업일 내 발송됩니다. 희귀 모델은 제조사 주문이 필요하므로 고객센터로 문의하여 일정을 확인하시기 바랍니다.
Q4:배송 및 추적
A:DHL/FedEx/UPS 이용 가능. 발송 후 운송장 번호와 링크가 제공됩니다. 전 과정은 당사 팀이 모니터링합니다.
Q5:포장 및 안전
A:강화 보호 포장(폼, 밀봉 박스, 정밀 장비용 목재 상자)이 적용된 정품 브랜드 포장입니다. 방습 및 충격 방지 처리되어 있습니다.